無塵室中若產生靜電，會造成哪些影響？

在無塵室中產生靜電會帶來以下主要問題：

  1. 吸附塵粒： 靜電會吸引空氣中的微塵，使它們附著在產品表面（如矽晶片或玻璃基板），造成污染，難以清除。
  2. 降低良率： 被污染的產品容易出現缺陷，導致生產良率下降，特別是在LCD及半導體製造過程中尤為明顯。
  3. 設備損壞： 靜電放電（ESD）可能導致電子元件的腐蝕、金屬熔化或永久性損壞。
  4. 靜電吸附效應放大： 隨著LCD玻璃基板尺寸增加，吸附電荷的能力也變強，污染風險更高。

會帶來以下主要問題：

  1. 吸附塵粒： 靜電會吸引空氣中的微塵，使它們附著在產品表面（如矽晶片或玻璃基板），造成污染，難以清除。
  2. 降低良率： 被污染的產品容易出現缺陷，導致生產良率下降，特別是在LCD及半導體製造過程中尤為明顯。
  3. 設備損壞： 靜電放電（ESD）可能導=====致電子元件的腐蝕、金屬熔化或永久性損壞。
  4. 靜電吸附效應放大： 隨著LCD玻璃基板尺寸增加，吸附電荷的能力也變強，污染風險更高。
無塵室中若產生靜電，會造成哪些影響？

在無塵室中產生靜電會帶來以下主要問題：

  1. 吸附塵粒： 靜電會吸引空氣中的微塵，使它們附著在產品表面（如矽晶片或玻璃基板），造成污染，難以清除。
  2. 降低良率： 被污染的產品容易出現缺陷，導致生產良率下降，特別是在LCD及半導體製造過程中尤為明顯。
  3. 設備損壞： 靜電放電（ESD）可能導致電子元件的腐蝕、金屬熔化或永久性損壞。
  4. 靜電吸附效應放大： 隨著LCD玻璃基板尺寸增加，吸附電荷的能力也變強，污染風險更高。